A. Aliuminio plokščių substratų įgūdžių reikalavimai
Pagrindiniai aliuminio plokščių pagrindo įgūdžių reikalavimai yra tokie, kad paviršius turi būti lygus ir plokščias, be įbrėžimų, įlenkimų, įspaudų, nemetalinių intarpų, porų ar riedėjimo žymių; storis turi būti vienodas; banguotumas turi būti kontroliuojamas 1 mm tikslumu; o lygumas turi būti mažesnis nei 2I. Struktūra turi būti smulki ir vienoda, be atsiskyrimo ar šlako intarpų, o vidinis įtempių pasiskirstymas turi būti simetriškas ir vienodas. Šiurkštumo Ra vertė turi būti mažesnė nei 0,28, kad būtų užtikrinti smulkūs ir vienodi elektrolitinio smėlio grūdeliai. Šiuo metu daugelis Kinijoje naudojamų substrato medžiagų yra 1050A, 1060 ir kt.
B . Šarmų valymas
Aliuminio apdirbimo įmonių tiekiamų aliuminio lakštų paviršiuje paprastai yra tam tikras aliejaus kiekis. Alyvos ir oksidų plėvelės turi įtakos šlifuoto paviršiaus apdorojimui, todėl gamyboje aliuminio lakštams apdoroti dažniausiai naudojamas plovimas karštu šarmu.
Oksido plėvelei ir alyvai pašalinti dažniausiai naudojami šarminiai tirpalai. Įprasta riebalų šalinimo tirpalų formulė apima NaOH, kaip pagrindinį komponentą, kartu su korozijos inhibitoriais, natrio gliukonatu ir paviršinio aktyvumo medžiagomis, tokiomis kaip riebalų rūgščių polioksietileno eteris, skirtas tirpinti ir sudaryti chelatą.
Riebalų šalinimo tirpalo temperatūra paprastai kontroliuojama apie 55–60 laipsnių, o riebalų šalinimo poveikis yra susijęs su tirpalo temperatūra. Jei temperatūra yra per aukšta, tai gali sukelti stiprią aliuminio lakšto paviršiaus koroziją, todėl būtina kontroliuoti temperatūrą.
Riebalų šalinimo laikas turi būti kruopščiai nustatytas lyginant, nes jis susijęs su skirtingomis gamybos linijomis. Ritės gamybos linijai tai priklauso nuo linijos greičio. Pavyzdžiui, 4 m/min., norint užtikrinti veiksmingą gydymą, riebalų šalinimo laikas turėtų būti apie 20 sekundžių.
Riebalų šalinimo tirpalą svarbu pakeisti nedelsiant, nes nuriebalinimo procese susidaro daug muilo, emulsijų, aliuminio druskų. Jų buvimas turi įtakos riebalų šalinimo efektui ir neleidžia sumuilinti ir emulsinti aliuminio lakšto paviršiaus alyvas. Nustačius silpną riebalų šalinimo poveikį, tirpalą reikia laiku pakeisti. Paprastai, jei tirpalas cirkuliuojamas naudojant šarmų siurblį, jis gali trukti ilgiau; be cirkuliacijos pakeitimo laikas trumpesnis.
Paprastas būdas patikrinti riebalų šalinimo efektą yra vandens naudojimas. Ant gerai-nuriebalinto aliuminio lakšto vanduo tolygiai pasklinda paviršiuje. Jei ant paviršiaus lieka vandens lašelių, tai rodo prastą riebalų šalinimą. Riebalų šalinimo tirpalo temperatūrą reikia nuolat stebėti, nes esant per žemai temperatūrai, riebalų pašalinimas gali būti nepilnas.
C. Rūgštinis marinavimas
Gamybos procese po plovimo šarmais yra ėsdinimo azoto rūgštimi etapas, kurio tikslas – pašalinti likučius po plovimo šarmais ir neutralizuoti likusį šarmo tirpalą. Azoto rūgšties tirpalo masės koncentracija yra 5–10%. Ją ruošiant reikia atsargiai įpilti azoto rūgštį į vandenį ir gerai išmaišyti. Marinavimo proceso metu reikia reguliariai stebėti tirpalo koncentraciją ir laiku ją papildyti.
D. Šiurkštinimas
Šiurkštinimas skirtas sukurti reikiamo šiurkštumo{0}}smėlio struktūrą. Šiurkštinimas gali pagerinti aliuminio plokštės pagrindo afinitetą vandeniui, padidinti pagrindo drėgnumą ir užkirsti kelią nešvarumams ant plokštės paviršiaus. Tuo pačiu metu grublėtas paviršius gali pagerinti plokštės ir fotorezisto sukibimą, taip pagerindamas plokštės spausdinimo patvarumą.
Šiurkštus smėlio grūdelius sudaro daugybė viršūnių ir slėnių. Įvairios smėlio-grūdelių struktūros labai veikia vandenį-sulaikančių šviesai jautrių sluoksnių sukibimą ir daro didelę įtaką PS plokščių naudojimui. Gamyboje paprastai naudojamas paviršiaus šiurkštumo tikrintuvas, kad būtų sukurti būdingi parametrai iš smėlio-smėlio grūdelių šiurkštumo skerspjūvio profilio kreivės{5}}.
